UV准分子放电灯，又称紫外线准分子灯，是利用在紫外线灯管外的高压、高频对灯管内的稀有气体进行轰击发出单一的172nm紫外线，光子能量达696KJ/mol，高于绝大多数有机分子键能。利用其单一的高强紫外线，可实现很好的半导体、液晶屏制造中的光清洗、光改性，处理效果好，速度快。
工作原理:
紫外线照射固体表面后，表面的污染物有机分子结合被强的光能切断、氧化，而后分解成氧气和氢气等易挥发性物质，最终挥发消失，被清洗后的表面清洁度极高，能把膜状的油污清洗到单分子层以下，水接触角可达小于等于1度。
主要特点:
紫外线准分子灯波长短，比低气压UV放电管具有更快的处理速度和更广泛的有机物处理对象;波长单一，波长范围窄，172正负10nm，发光效率高。红外线发生量少，温度低，对产品影响小;可瞬间点灯，省去待机准备的时间;照射的同时可进行除静电处理;放电管内不充入汞等有害物质，对环境不产生负面影响。
主要用途:
半导体、液晶屏制造中的光清洗、光改性。
特殊物质的合成、分解。
塑料表面的改性。
UV固化。
PDP荧光体分析。
光CVD
皮肤病治疗等。
工作原理与特点
